Специалисты из института Макса Планка разработали технологию
получения монокристаллических кремниевых нанопроводов, с помощью
которых можно добиться дальнейшего уменьшения размеров микрочипов.
Ученым впервые удалось вырастить кремниевые нанопровода на частицах
алюминия. Такие нанопровода могут применяться для изготовления чипов, в
отличие от нанопроводов, созданных на золотых частицах, поскольку
присутствие золота значительно ухудшает качество микроэлектронных
приборов.
Алюминий же, не оказывает вредного воздействия на свойства чипов и
часто используется при изготовлении полупроводниковых приборов. Кроме
того, использование алюминия в качестве катализатора позволяет
создавать нанопровода при относительно низких температурах - около 450
градусов Цельсия.
Чтобы раскрошить алюминий на мелкие частицы, необходимые для
формирования таких тонких структур, ученые нагревали тонкую пленку на
кремниевой подложке, в результате чего пленка разрывалась на мелкие
кусочки. Затем они проводили известную процедуру - распыляли на
поверхности газообразный силан (соединение кремния с водородом), где он
превращался в кремний, взаимодействуя с частицами катализатора. Частицы
кремния поглощались алюминием, и когда этот процесс достигал насыщения,
происходила кристаллизация кремния. В результате образовывались
монокристаллические кремниевые нанопровода диаметром примерно 40
нанометров.
По словам участника исследования доктора Стефана Сенза, нанопровода
представляют не только практический, но и фундаментальный интерес, т.к.
в масштабах, сравнимых с размерами нанопроводов, уже могут проявляться
квантовые эффекты, сообщает CNews.
